典型應(yīng)用A：化學(xué)品過濾
在半導(dǎo)體制造中化學(xué)品過濾，主要有兩個(gè)方面的挑戰(zhàn)，首先是過濾材料對(duì)化學(xué)品的適應(yīng)能力，不得當(dāng)?shù)牟牧线x擇，會(huì)造成重大的質(zhì)量事故，而用于半導(dǎo)體的化學(xué)品多為強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和一些腐蝕性極強(qiáng)的物料，所以包括過濾容器在內(nèi)，多使用PVDF（聚偏氟乙烯）和PTFE(聚四氟乙烯)材料。另外一個(gè)方面就是對(duì)精度的挑戰(zhàn)也達(dá)到了極限，0.04/0.1/0.22μm的過濾是經(jīng)常被使用的，而且其去除效率要達(dá)到99.9999%，而且在極端條件下的COD析出值也要控制在ppb等級(jí)。
由于潔凈度的高要求，就在化學(xué)品的轉(zhuǎn)運(yùn)的沒個(gè)環(huán)節(jié)幾乎都安排了過濾器，在供應(yīng)商運(yùn)送物料的槽車上，在輸送的管路上；到每一個(gè)使用設(shè)備的進(jìn)料口，都嚴(yán)格按要求提供。
